超聲波掃描顯微鏡是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)完美地結(jié)合在一起而開發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品,可以在計(jì)算機(jī)上很方便地觀察金相圖像,從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析,評(píng)級(jí)等以及對(duì)圖片進(jìn)行輸出、打印。 超聲波掃描顯微鏡主要由光學(xué)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、機(jī)械系統(tǒng)、附件裝置(包括攝影或其它如顯微硬度等裝置)組成。根據(jù)金屬樣品表面上不同組織組成物的光反射特征,用顯微鏡在可見光范圍內(nèi)對(duì)這些組織組成物進(jìn)行光學(xué)研究并定性和定量描述。
超聲波掃描顯微鏡是專門用于觀察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡。這些不透明物體無(wú)法在普通的透射光顯微鏡中觀察,因此金相和普通顯微鏡的主要差別在于前者以反射光,而后者以透射光照明。在金相顯微鏡中照明光束從物鏡方向射到被觀察物體表面,被物面反射后再返回物鏡成像。這種反射照明方式也廣泛用于集成電路硅片的檢測(cè)工作。
超聲波掃描顯微鏡是用可見光作為照明源的一種顯微鏡可分為正立式和倒置式兩種。兩者的區(qū)別為:
正立式顯微鏡:光路短,光路設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,光損少,制樣要求高,樣品高度有要求,方便多視場(chǎng)連續(xù)觀察,鏡頭不易落灰易維護(hù)。
倒置式顯微鏡:光路長(zhǎng),光損較大,光路設(shè)計(jì)較復(fù)雜,制樣要求較低,對(duì)樣品高低無(wú)要求,檢測(cè)方便快速,不適合多視場(chǎng)分析,同等配置下倒置顯微鏡的價(jià)格要高于正立式顯微鏡。